欢迎登录材料期刊网
陈秀华 , 王莉红 , 项金钟 , 吴兴惠 , 周桢来
功能材料
利用高真空磁控溅射镀膜的方法制备了超大规模集成电路铜布线的扩散阻挡层TaN薄膜,讨论了实验条件温度、功率和氩气与氮气气流量比对TaN薄膜的生长动力学和表面形貌结构的影响,得到较好的制备TaN薄膜的实验参数.
关键词: 磁控溅射 , TaN阻挡层薄膜 , 生长动力学
兰尧中 , 王莉红 , 杨宇
转炉污泥是钢铁工业废弃物主要成分之一,也是一种能有效利用的资源.本文研究了转炉污泥作为一种吸附剂对废水中磷吸附的一般规律.实验结果表明,转炉污泥的投加量、溶液pH值、接触时间是影响污泥对磷吸附的主要因素;当投加量为2.0mg/100ml、接触时间4h、溶液pH值为4时,废水中88%的磷被除去;转炉污泥对废水中磷的吸附符合Freundlich模型.转炉污泥是一种比较有效的废水吸附剂.
关键词: 脱磷 , 废水 , 转炉污泥 , 环保
