皋华敏
,
李铁
,
许磊
,
刘翔
,
王翊
,
周萍
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.008
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.
关键词:
数字微流芯片
,
静电力
,
液滴
吴雷
,
李铁
,
王立春
,
王翊
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.015
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析.分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好.
关键词:
微电子机械系统
,
面型微加热器
,
热分析
刘义冬
,
李铁
,
王翊
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.03.007
提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH ((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测器.实验得到的器件成品率达到90%以上,响应率为12.5 V/W,探测率1×107 cmHz1/2/W,为进一步大规模红外面阵研究奠定了基础.
关键词:
红外
,
热电堆
,
微电子机械系统
