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SOI在高压器件中的应用

王石冶 , 刘卫丽 , 张苗 , 林成鲁 , 宋志棠

功能材料

综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURF LDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和讨论.

关键词: SOI , 高压器 , 击穿电压