黎松林
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陈莺飞
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王瑞兰
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徐小平
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田海燕
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王奉波
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雍俐培
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胡芳仁
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赵新杰
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林德华
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郑东宁
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.z1.061
优化了各项试验参数,运用后退火方法成功制备了2英寸Tl-2212超导薄膜.为避免真空室污染,制备过程中先利用脉冲激光法在LaAlO3基片上沉积出不含Tl的Ba2CaCu2Ox前驱膜,然后在720~740℃下的流动氩气氛中进行铊化后退火处理,制备的薄膜外观均匀光滑.2θ扫描表明,薄膜具有良好的c轴外延性.SEM图像显示,薄膜以层状生长为主,表面存在孔洞、团状颗粒以及少量针状晶粒.最佳薄膜零电阻温度TC0~108K,临界电流密度Jc>106A/cm2,表面电阻Rs~0.5mΩ.
关键词:
超导薄膜
,
脉冲激光沉积
,
Tl-2212