董茂进
,
张玲
,
王多书
,
熊玉卿
,
王济洲
宇航材料工艺
doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2015.01.004
以光学滤光片薄膜边缘应力作为对象,研究了Ge/ZnS单、多层光学薄膜应力的变化规律.通过实验研究了离子束轰击能量以及真空退火温度等因素对Ge/ZnS光学薄膜应力类型、大小、变化及其分布的影响规律.ZnS薄膜的应力为压应力,采用离子束辅助工艺后薄膜边缘应力变得均匀;真空退火使ZnS薄膜的应力减小为原来的一半.通过优化沉积参数和张应力、压应力薄膜的组合降低了Ge/ZnS多层光学薄膜的应力,结果表明其平均应力分别为0.1 MPa,而且处于压应力状态.
关键词:
光学薄膜
,
边缘效应
,
应力模型
刘恒
,
熊玉卿
,
王济洲
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.014
研究分析了采用原子层沉积技术在大长径比管道内壁镀制铝膜的可行性.首先,建立了管道内壁气体吸附动力学方程,通过分离变量法解吸附动力学方程,计算出反应前驱体在管道内壁达到饱和化学吸附的时间；其次,根据铝晶胞的面心立方结构,计算出每层原子层沉积周期所镀制的铝膜厚度；最后,理论计算能实现正常波导的管道内壁所需要的铝膜最小厚度,得出原子层沉积所要循环的周期数.
关键词:
原子层沉积
,
管道内壁
,
波导
,
铝
