王晓泉
,
杨德仁
,
余学功
,
马向阳
,
阙端麟
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.03.010
本文主要研究了在氢气下退火对掺氮直拉硅中热施主(TDs)和氮氧(N-O)复合体的影响.实验结果表明,在氢气下低温退火对热施主和N-O复合体的生成与在氩气下差不多.这说明低温氢退火注入到硅中的氢的量很少,不会对硅片的电阻率产生明显的影响.
关键词:
氢
,
退火
,
热施主
,
氮氧复合体
,
直拉单晶硅
王晓泉
,
杨德仁
,
席珍强
材料导报
SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,已经越来越广泛地应用于多晶硅太阳电池的制造工艺中.介绍了SiN薄膜在硅太阳电池中的性质,制备方法等研究现状,同时提出了存在的问题并展望了今后的发展趋势.
关键词:
SiN
,
多晶硅
,
PECVD
,
太阳电池
