王明娥
,
巩水利
,
马国佳
,
刘星
,
张林
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王达望
,
陆文琪
,
董闯
稀有金属材料与工程
采用温度梯度法,通过MW-ECR射频磁控溅射在硅片基底上制备了六方和立方混合的氮化硼薄膜.研究了薄膜的键结构,化学成分和力学性能.结果显示,对于氮化硼立方相的出现存在温度阈值,薄膜的硬度随沉积温度提高而提高.相对于传统薄膜制备方法,温度梯度方法具有更高的效率.
关键词:
氮化硼薄膜
,
溅射
,
温度梯度法
,
硬度
王明娥
,
马国佳
,
刘星
,
董闯
稀有金属材料与工程
采用阴极弧沉积、中频磁控溅射及二者的复合技术在GCr15基底上制备了TiN涂层.通过扫描电镜、XRD谱、微米划痕测试、硬度测试以及摩擦磨损测试对涂层的组织结构和力学性能进行了表征及对比.结果表明,采用复合磁控阴极弧技术制备的TiN涂层具有较好的综合性能,如较光滑的表面、较高的结合力和硬度,故磨损率较低.
关键词:
物理气相沉积
,
TiN涂层
,
摩擦磨损
,
复合沉积
