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退火温度对多孔阳极氧化铝膜形貌的影响

赵世华 , 贾廷见 , 崔玉亭 , 朱治广 , 赵青 , 王文凯 , 王连伟 , 蔡娜

材料导报

采用二次阳极氧化法制备了有序的氧化铝膜,于800℃、900℃和1000℃对氧化铝膜进行退火处理,经X射线衍射检测发现,其晶相结构由γ-A12 O3向θ-Al2 O3结构转变,而且由于相变不彻底导致多晶相结构并存.比较了3种不同的退火温度对氧化铝膜表面有序孔的影响,提出了对于内嵌入氧化铝膜的前驱体材料的退火条件,即退火温度不宜太高,退火时间不宜太长.

关键词: 无机非金属材料 , 多孔氧化铝膜 , 阳极氧化 , 退火温度 , 相变

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