黄根生
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王成新
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黄柏标
,
崔得良
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高善民
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秦晓燕
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于淑琴
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.01.013
采用常压金属有机物气相沉积法生长AlAs/GaAs周期性反射膜,并利用双晶X射线衍射、扫描电子显微镜和记录式分光光度计等分析手段,对材料结构及光学性质进行了分析.实验结果表明,在780℃连续生长的薄膜结构和晶体质量都很好,但是反射率低;通过模拟计算,连续生长存在渐变层,而渐变层大大降低了反射率;在同样生长条件下间断生长得到较高反射率的薄膜材料.
关键词:
AlAs/GaAs反射膜
,
反射率
,
导纳矩阵法
,
金属有机化学气相沉积
邵慧慧
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李树强
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曲爽
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李毓锋
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王成新
,
徐现刚
人工晶体学报
利用湿法腐蚀方法,制备出图形化蓝宝石衬底(PSS).在相同的腐蚀时间下,研究腐蚀液温度对腐蚀蓝宝石表面形貌和外延后GaN材料的影响.扫描电镜(SEM)测试结果表明:随着腐蚀液温度的增加,图形的深度增加.腐蚀后图形阵列排布整齐,所有图形都方向一致,这与蓝宝石本身晶体性质有关.腐蚀液温度对外延后GaN的影响也比较大,随着腐蚀液温度的增加,(002)半峰宽逐渐增加,光致发光谱(PL)发光强度逐渐增加.管芯结果表明,LED管芯的光强也逐渐增加.
关键词:
湿法腐蚀
,
蓝宝石图形衬底
,
GaN
,
外延层
