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Al-Cu合金中θ相的价电子结构分析

高英俊 , 黄创高 , 王态成 , 蓝志强 , 韦银燕

功能材料

运用经验电子理论(EET)对Al-Cu合金薄膜析出相θ(Al2Cu)的价电子结构进行计算.结果表明θ相中的Cu-Cu键最强,其次为Al-Cu键,它们的强度都比金属Cu的最强Cu-Cu键要强.Al-Cu合金薄膜互连线的电迁移寿命与在基体晶粒中析出具有强的共价键络的θ相紧密相关.θ相的析出提高了合金强度,延长了合金电迁移寿命.

关键词: Al-Cu合金 , θ(Al2Cu) , 电子结构 , 热稳定性 , 电迁移