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Si(100)衬底上SiC的外延生长

王引书 , 李晋闽 , 张方方 , 林兰英

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.z1.020

在1050℃下用Si2H6和C2H4在Si(100)衬底上外延生长了3C-SiC,生长前只通入C2H4将Si衬底碳化形成SiC缓冲层.碳化过程中C2H4与Si表面反应形成了SiC孪晶,但随着生长时间的延长,外延层转变为单晶层,其表面呈现典型的单晶SiC的(2×1)再构.从外延层的Raman谱观察到明显的SiC的TO和LO声子模;SEM观测结果表明,外延层的表面比较平整.

关键词: Si , SiC , 外延生长 , 表面再构 , Raman光谱

CdS0.1Se0.9纳米晶体的电光性质

孙萍 , 王引书 , 王若桢 , 林永昌

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.01.016

对嵌埋于玻璃基体中的(dS0.1 Se0.9纳米晶体进行了室温电调制透射谱测量,观察到较强的共振和非共振电光响应信号(10-4~10-3).共振电光响应具有如下特征:同一组分的纳米晶体其信号的峰位随着尺寸减小向高能方向移动;同一样品谱线形状不随外电场强度而变;信号幅度与外电场强度的平方成线性关系,并且随调制频率的增加而减小;共振电光效应的物理机制是量子受限的Stark效应.非共振电光响应信号呈与波长有关的振荡线形;外电场强度增加,非共振电光响应信号幅度也增加;用介电受限的局域场增强理论解释了非共振电光效应的物理机制.

关键词: CdSxSe1-x , 电调制透射谱 , 纳米晶体 , 电光效应

金属材料中氦的扩散与氦泡的形核生长研究

张崇宏 , 陈克勤 , 王引书 , 孙继光

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2001.01.010

简述了金属材料中氦聚集行为的研究概况,特别是本课题组近年来对奥氏体不锈钢中氦扩散及氦泡形核生长机制的研究结果,并提出了这个领域有待解决的问题.

关键词: 离子注入 , 金属材料 , 氦扩散 , 氦泡的形核与生长

SiC单晶的生长及其器件研制进展

王引书 , 李晋闽 , 林兰英

材料研究学报

SiC具有禁带宽度大、热导率高、电子的饱和漂移速度大、临界击穿电场高和介电常数低等特点在高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件及紫外探测器和短波发光二极管等方面具有广泛的应用前景.本文综述了半导体SiC体单晶和薄膜的生长及其器件研制的概况.

关键词: SiC体单晶生长 , epilayer growth , SiC devices

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