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4H-SiC的强氧化液化学机械抛光

梁庆瑞 , 胡小波 , 陈秀芳 , 徐现刚 , 宗艳民 , 王希杰

人工晶体学报

研究了一种新型的化学机械抛光方法,使用以KMnO4作为氧化剂的强氧化性化学机械抛光液(SOAS)进行化学机械抛光.研究了在4H-SiC硅面和碳面的化学机械抛光过程中,SOAS溶液中KMnO4的浓度对抛光质量的影响.使用原子力显微镜(AFM)和精密电子天平,分别测试了表面粗糙度和去除率.结果表明,适量的KMnO4可以大幅度提高4H-SiC的化学机械抛光去除率,同时可提高4H-SiC衬底的表面抛光质量.

关键词: 碳化硅 , 化学机械抛光 , 高锰酸钾 , 粗糙度 , 去除率

金刚石微粉对SiC机械抛光的影响研究

梁庆瑞 , 宗艳民 , 王希杰 , 陈秀芳 , 徐现刚 , 胡小波

人工晶体学报

研究了金刚石微粉对碳化硅晶片表面机械抛光质量及去除率的影响.选取粒径均为W0.5~1μm、粒径分布和形貌不同的3种金刚石微粉,配置3种SiC单晶片机械抛光液.通过纳米粒度仪和扫描电镜分别测试了金刚石微粉的粒度分布和微观形貌.使用原子力显微镜测试了SiC晶片机械抛光后表面粗糙度.金刚石微粉的微观形貌越圆滑,粒径分布越集中,抛光后晶片的表面质量越好.金刚石微粉中单个颗粒的表面棱角有利于提高材料去除率.

关键词: 碳化硅 , 金刚石微粉 , 机械抛光 , 表面粗糙度

电镀时间对碳纤维表面连续电镀镍的影响

韩笑 , 周玉玺 , 王增加 , 王希杰 , 刘建军

电镀与涂饰

采用连续电镀法制备镀镍碳纤维,以提高碳纤维的电性能和开发新型电磁防护材料。通过扫描电镜、冷热循环法、四探针法和电子万能试验机,对电镀不同时间后镀镍碳纤维的微观结构、结合力、体积电阻率和力学性能等进行表征。结果表明,镍镀层与碳纤维之间结合紧密;随电镀时间延长,镍镀层厚度增大,导电性改善;镀镍碳纤维的力学性能较镀镍前略差。较适宜的电镀时间为4 min。

关键词: 碳纤维 , , 连续电镀 , 结构 , 力学性能 , 导电性

衣康酸氨化对聚丙烯腈基碳纤维聚合和原丝性能的影响分析

韩笑 , 王希杰 , 王增加 , 王华 , 李崇俊 , 刘建军

高分子材料科学与工程

为制备力学性能优异的聚丙烯腈基碳纤维,采用氨化度不同的衣康酸(IA)单体与丙烯腈(AN)、丙烯酸甲酯(MA)和乙烯磺酸(AS)制备聚丙烯腈(PAN)基碳纤维.通过聚合转化率的测定表征聚合反应速度,显微镜观察原丝断面形貌,广角X射线衍射表征原丝结晶取向度,动态热机械法表征原丝的玻璃化转变温度和热收缩率,电子万能试验机表征原丝及碳纤维的力学性能.测试结果表明,IA经氨化后制备得到β-衣康酸铵,以β-衣康酸铵作为共聚单体制备的PAN纺丝液的数均相对分子质量达到64100,相对分子质量分布指数为2.96,比粘为1.86;纺丝后原丝断面明亮整齐,氨化度为25%的原丝在12倍牵伸下,单丝拉伸强度为6.8 cN/dtex,弹性模量为113.0 cN/dtex;该原丝的玻璃化转变温度较未氨化原丝提高了3.19℃;该原丝经炭化后的碳纤维(1K)的拉伸强度达到4572 MPa,弹性模量249 GPa,钩结强力62.4N,纤维的力学性能和韧性得到提高.

关键词: 衣康酸 , β-衣康酸铵 , 聚丙烯腈基原丝 , 碳纤维

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