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光干涉在光学元件面形测量中的应用

王占芹 , 于瀛洁

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2006.02.012

干涉计量技术由于能进行全场测量、非接触、精度和灵敏度高等特点在生产和研究中得到了广泛的应用.很多情况下,被测物理量和光学位相直接相关.本文从基本概念出发,介绍了光、光程、光程差和位相,对应用位相测量光学元件面形的原理做了详细的阐述,并简要列举了现在求取位相常用的方法:时间相移法、空间相移法、载波条纹的Fourier变换法和载波条纹的时域法.

关键词: 光程差 , 位相 , 干涉 , 相移