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高阻硅掩膜选择性生长多孔硅阵列

陈少强 , 朱建中 , 朱自强 , 邵丽 , 王伟明 , 郁可

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.014

介绍一种在低阻P型硅衬底上用氢离子注入技术形成局部高阻硅掩膜,用电化学腐蚀选择性生长多孔硅微阵列的工艺流程.结果证明,用高阻硅掩膜选择性生长多孔硅具有很好的掩蔽效果,生成的多孔硅阵列的有序性和完整性良好.

关键词: 多孔硅阵列 , 选择性生长 , 高阻硅掩膜

四段式单螺杆反应挤出机的研制

吴大呜 , 丁玉梅 , 龙文保 , 王伟明 , 刘颖 , 陈自卫

高分子材料科学与工程

反应挤出机除了塑化功能外,在设计上应充分考虑反应挤出工艺的要求.虽然不同反应体系的反应类型和工艺要求有很大的差别,但它们对挤出机反应功能的要求,主要包括能量传递、物料停留时间及其分布.在对乙烯基硅烷-聚乙烯体系熔融接枝反应动力学深入研究的基础上,我们对三段式单螺杆挤出机进行了改进,增设了反应段,首次提出了适于聚乙烯硅烷接枝反应过程的四段式单螺杆反应挤出机的设计原理和方法.所设计的四段式单螺杆反应挤出机成功地用于硅烷交联聚乙烯管的生产过程,经生产运行考核,证明四段式反应挤出机的接枝反应效率明显提高.文中还提出了挤出机中熔体停留时间的简化计算方法,可以为确定反应工艺条件、控制反应时间提供参考数据.

关键词: 反应挤出 , 四段式 , 单螺杆挤出机 , 熔融接枝

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