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溶胶凝胶法制备ZnO:Ga作为电流扩散层的LED光电性能研究

李倩 , 王万晶 , 李喜峰 , 张建华 , 吕建国

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.03.011

采用溶胶凝胶法制备了ZnO:Ga (GZO)透明导电薄膜,并用做GaN基LED的电流扩散层.研究表明,GZO薄膜为多晶薄膜,透光率大于80％,粗糙度为Ra 4.6nm,制备的LED的开启电压为2.4V,并成功的点亮LED芯片.

关键词: 溶胶凝胶 , LED , GZO