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高锡含量锗锡合金和镍反应的形貌研究

孟骁然 , 平云霞 , 常永伟 , 魏星 , 俞文杰 , 薛忠营 , 狄增峰 , 张苗 , 张波

功能材料与器件学报

本文详细研究了高锡含量锗锡合金(Ge0.92Sn0.08)与镍在退火条件下的反应.通过表层电阻测试、原子力显微镜和透射电镜等表征手段,我们分别研究了镍锗锡材料在300℃、400℃、500℃温度下退火后的表面和界面形貌.研究表明:与镍和锗反应相比,镍和锗锡材料反应生成的镍锗锡薄膜热稳定性变差,退火温度400℃后镍锗锡薄膜表层电阻就迅速增加,样品表面变得不连续,团聚为平均长度200nm左右的岛状晶粒,样品表面和界面与电学性质都遭到了破坏.

关键词: 锗锡合金 , , 热稳定性

热处理中Si/SiGe/Si界面互扩散

文娇 , 刘畅 , 俞文杰 , 张波 , 薛忠营 , 狄增峰 , 闵嘉华

功能材料与器件学报

利用高分辨率X射线衍射(HRXRD)和拉曼光谱(Raman spectrum)研究了由扩散引起Si/SiGe/Si异质结中Si/SiGe异质界面互混的现象.结果表明:应变弛豫前Si/SiGe异质界面互混程度随热载荷的增加而增强;Si/SiGe异质界面的硼(B)浓度梯度抑制了界面互扩散.总之,Si/SiGe互扩散作用越强诱发Si/SiGe异质界面越粗糙,从而导致器件性能恶化.

关键词: Si/SiGe互扩散 , 热载荷 , 硼浓度梯度

石墨烯与锗衬底界面结构的第一性原理研究

史晓华 , 王刚 , 郭庆磊 , 张苗 , 狄增峰

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.10.032

采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理,研究石墨烯与Ge衬底之间的界面结构.计算结果表明,在3种衬底Ge(111)、Ge(100)和Ge(110)上界面结合能有相同的规律,均在平衡距离为3.3A时获得最低能量,平均每个碳原子的界面结合能分别为24.3 meV、21.1 meV和23.3 meV;通过构造0~60°之间不同的界面夹角,发现一个高对称性的界面结构;相比本征Ge衬底,石墨烯与H钝化后Ge衬底之间的界面平衡距离增大,结合能降低;H钝化能有效地屏蔽石墨烯与Ge衬底之间的相互作用,恢复了本征石墨烯的电子性质,起到缓冲层作用.

关键词: 锗衬底 , 石墨烯 , 界面结构 , 第一性原理

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