王健
,
熊兵
,
孙长征
,
郝智彪
,
罗毅
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.014
深入研究了掩膜制作工艺对电感耦合等离子体刻蚀的InP端面的影响.首先比较了光刻胶、SiO2和Si3N4三种材料的掩膜特性,发现掩膜图形的致密性、侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响.然后通过优化SF6等离子体刻蚀Si3N4的条件,得到了边缘平整且侧壁垂直的掩膜图形.利用这一掩膜制作技术,获得了深度达7μm的光滑垂直的InP刻蚀端面,选择比达15:1.
关键词:
干法刻蚀
,
掩膜
,
ICP
,
InP
,
刻蚀端面
熊兵
,
陈林根
,
孟凡凯
,
孙丰瑞
钢铁
建立了高炉冲渣水余热驱动两级热电发电装置的有限时间热力学模型,分析了热源温度沿程变化的条件下冲渣水温度、对流换热系数、流道长度等参数对装置功率、效率、最大功率、最大效率和最优负载比的影响,并给出了协调最大功率和最大效率的电流范围.结果表明:对于100℃的高炉冲渣水,负载电阻匹配时,最大功率和最大效率分别为0.55 kW和3.22％,且最大功率时的负载比约为1.2.
关键词:
变温热源
,
高炉冲渣水
,
余热利用
