江风益
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熊传兵
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彭学新
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王立
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李述体
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姚冬敏
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莫春兰
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李鹏
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周毛兴
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周力
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吴蔚登
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刘和初
材料导报
关键词:
李述体
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莫春兰
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李鹏
,
王立
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熊传兵
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彭学新
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江风益
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.022
对MOCVD生长GaN:Si薄膜进行了研究,研究表明随SiH4/TMGa流量比增大,GaN:Si单晶膜的电子浓度增大,迁移率下降,X射线双晶衍射峰半高宽增加,同时带边发射强度得到了大大的提高,并报导了随SiH4/TMGa流量比增大,GaN:Si的生长速率降低的现象.研究结果还表明,预反应对GaN:Si单晶膜黄带发射影响很大,预反应的减小可以使黄带受到抑制.
关键词:
MOCVD
,
GaN:Si
,
光致发光
肖宗湖
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张萌
,
熊传兵
,
江风益
,
王光绪
,
熊贻婧
,
汪延明
人工晶体学报
本文通过XRD和PL等分析方法研究了在Si衬底生长的GaN基LED外延薄膜n型GaN层和InGaN阱层的应力状态,以及裂纹对其应力状态的影响.XRD结果表明:在Si衬底生长的GaN基LED外延薄膜n型GaN层受到张应力,在受到一定的外加应力后会以裂纹及裂纹增生的方式释放.随着裂纹数量的增加,n型GaN层受到的张应力逐渐减小,但仍处于张应力状态;n型GaN层张应力的减小使得InGaN阱层受到的压应力增大.PL分析进一步表明:InGaN阱层受到的压应力增大使得量子限制Stark效应更加明显,禁带宽度减小,发光波长表现为红移.
关键词:
Si衬底
,
InGaN/GaN
,
LED
,
裂纹
,
应力