刘雪婷
,
何崇斌
,
薛异荣
,
焦龙龙
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.增刊(Ⅰ).024
利用溶胶-凝胶法在Al2O3陶瓷片上制备掺Mg的SrTiO3薄膜.在SrTiO3中掺杂不同含量的Mg离子,Mg在钛酸锶中取代钛位,形成受主掺杂.研究了掺杂对薄膜电阻率的影响,实验表明,当掺杂浓度为4％时,电阻率最小.当掺杂浓度为4％时,薄膜电阻率会随着光功率变化而变化,当光功率＜100W时,电阻迅速减小,超过100W时,减小幅度变小.
关键词:
溶胶-凝胶
,
SrTiO3薄膜
,
Mg掺杂
,
电阻率
