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光谱选择反射型太阳隔热膜研究

张明 , 潘永强 , 陈佳 , 栗旭阳 , 杨飞

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.04.014

目的:研制具备高紫外光阻隔率、高红外光阻隔率、高可见光透射率的太阳隔热膜。方法依据标准大气光谱和隔热膜的基本原理给出理想隔热膜的透射率光谱曲线,在防止室内眩光的基础上给出太阳隔热膜的实用透射率曲线。通过对金属Ag薄膜光学常数的研究,提出基于介质ZnS和金属Ag的多层结构的选择反射型太阳隔热膜结构,利用TFC膜系软件设计三层结构的选择反射型太阳隔热膜并进行允差分析。采用热蒸发技术制备该选择反射型膜太阳隔热膜。结果隔热膜在0.3~0.38μm紫外波段的阻隔率达到99.2%,在0.38~0.78μm可见光波段的平均透射率为75.2%,在0.78~2.5μm 红外波段的阻隔率达到91 .2%,太阳能总隔热率为62.1%。结论研制的太阳隔热膜能在保证隔离紫外线辐射和红外热辐射的同时满足对可见光具有较高的透射率。

关键词: 太阳隔热膜 , 透射率 , 反射率 , 光学常数 , 热蒸发 , 隔热率

端部霍尔等离子体源沉积类金刚石膜的研究

潘永强 , 朱昌 , 弥歉 , 方勇

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.02.009

本文通过对端部霍尔离子源特性的研究,采用自行研制的用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源成功镀制了类金刚石膜,并对采用该离子源制备类金刚石膜的工艺进行了研究和分析.实验结果表明,采用端部霍尔离子源镀制类金刚石膜不仅操作简单、可实现大面积沉积,而且类金刚石膜的沉积速率较大,最大可达0.8nm/s,其折射率依不同工艺在1.8~2.2之间可调.并对不同工艺条件下制备的类金刚石膜的硬度进行了测试和分析.

关键词: 端部霍尔离子源 , 类金刚石膜 , 红外光谱

SiO2/TiO2变折射率光学薄膜制造技术研究

宁晓阳 , 杭凌侠 , 郭峰 , 潘永强

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.06.017

探讨了单源混蒸技术制备SiO2/TiO2变折射率薄膜的可行性,分别蒸发SiO2和TiO2质量比为1:1和1:2的混料,研究分析了薄膜折射率的变化情况,并将其与双源共蒸的方法进行了比较.实验中发现,两种材料蒸发方式的差异是影响SiO2/TiO2变折射率薄膜制备的主要因素,尚未发现混料中SiO2和TiO2的质量比与SiO2/TiO2薄膜折射率的对应关联.

关键词: SiO2/TiO2薄膜 , 单源混蒸 , 电子束蒸发 , 变折射率

四栅网式离子能量分析仪栅网特性研究

潘永强 , 王飞飞 , 杭凌侠 , 弥谦

表面技术

为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网格大小和网格间距对离子能量测量结果的影响进行了理论分析.分析结果表明,当离子能量为800 eV左右时,网格尺寸的大小会影响离子能量的测量精度,网格间距的大小对离子能量的测量结果几乎不产生影响.该研究结果对栅网式离子能量测试装置的设计及网格参数的优化具有重要的理论和实践指导意义.

关键词: 离子能量 , 栅网式能量分析仪 , Simion模拟 , 四栅网

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