李宝杰
,
卓钺
,
杨盛良
,
潘水艳
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2006.02.007
为了进一步提高Cf/SiC复合材料的高温耐烧蚀性能,采用冷壁MOCVD工艺,对条型和管型Cf/SiC复合材料样品进行了金属铱膜层沉积.结果表明,在该工艺条件下,Cf/SiC复合材料的力学性能没有明显降低,沉积的金属铱膜呈白亮的金属色光泽.针对通氧沉积工艺中涂层氧含量较多的问题,通过对涂层进行后处理,使金属铱层的纯度大大提高,为获得高纯膜提供了新的工艺途径.
关键词:
MOCVD
,
Cf/SiC
,
铱
,
涂层
潘水艳
,
卓钺
,
杨盛良
冶金分析
doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z2.033
为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据.
关键词:
金属β-二酮化合物
,
乙酰丙酮铱
,
质量传输速率
