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李栋宇 , 刘贵昂 , 潘喜诚 , 邵乐喜
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.04.011
氧化温度有很大的联系.通过UV-VIS透过光谱得知随着氧化温度的升高,SnO2薄膜的光透过率也升高,光学禁带宽度也随着氧化温度的升高而升高.这种制备SnO2薄膜的工艺具有适于大面积制造,低成本,过程容易控制等很多优点.
关键词: SnO2薄膜 , 热氧化法 , 蒸发
