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蒋文娟 , 孟凡涛 , 潘光慎 , 王珊 , 单连聚
硅酸盐通报
采用热分析、显微分析、扫描电镜分析等方法对样品进行检测,研究了钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺,确定了合理的脱脂升温制度和脱脂气氛.结果表明,脱脂升温速率为1～2℃/min,并于215℃、350℃保温15min,脱脂后样品光滑平整,宏观无缺陷;湿氢气气氛下脱脂可以将有机成分完全排除,避免了出现碳残余、金属化层被氧化以及脱层等问题.
关键词: 氧化铝陶瓷基片 , 金属化 , 脱脂
