刘妤
,
温志渝
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.011
工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性.本文针对自主设计的二维微加速度传感器,在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响,主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等.结果表明:质量偏心会引起角位移变化,但对主轴刚度无影响,传感器不会有输出;在现有工艺条件下,可忽略梁厚误差的影响,但需严格控制梁宽误差;各种不对称方案对传感器主轴刚度和横向灵敏度的影响程度不同,不对称方案对横向灵敏度的影响随着不对称性的加剧而增大;非平行效应使得在相同外载荷作用下敏感轴向位移减小,但静态灵敏度却有所增加.
关键词:
微加速度传感器
,
工艺特性
杜晓晴
,
温志渝
,
刘海涛
,
赵釜
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.013
设计了一种基于激光扫描与光学成像技术的测试方法来实现一维扭转式微镜的偏转角特性测试.该方法采用激光作为光源,利用微镜自身的光学扫描特性以及人眼的存储记忆效应,获得激光点光源在微镜静止与高频工作下在成像屏上的像点坐标,从而可以计算出微镜在一定驱动电压下的偏转角大小.误差分析表明该方法的平均测试误差±0.043°,测试精度1%;而实验数据进一步说明测试结果与参考曲线一致.所设计的测试方法摆脱了常规微镜测试对显微镜、干涉测量仪、CCD等精密复杂设备的依赖性,测试简单、易于实现且准确度较高,可为微镜应用提供可靠依据.
关键词:
微镜
,
偏转角
,
激光扫描
,
测试
,
误差分析
文春明
,
尤政
,
温志渝
,
王晓峰
,
陈李
功能材料
为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构.经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构.分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响.实验结果表明,用SU-8胶制备高深宽三维电极微结构,能在相同底面积的基础上有效增加电板结构的表面积,提高单位底面积的电容器储能密度.
关键词:
三维微结构
,
SU-8光刻胶
,
高深宽比
,
超级电容器
,
MEMS
肖玲
,
陈莹
,
刘振
,
王根水
,
温志渝
,
董显林
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160332
采用磁控溅射法在PLZST陶瓷衬底上制备了不同厚度的LSMO薄膜,并对其微结构、磁性能及电输运特性进行了研究.结果表明,LSMO薄膜具有单一钙钛矿结构,晶粒均匀,表面平整,其中20 nm厚LSMO薄膜粗糙度仅为2.93 nm.在10~300 K温度范围内,LSMO薄膜均具有大的磁电阻效应,20 nm厚的LSMO薄膜磁电阻温度稳定性优异.随着薄膜厚度的增加,薄膜的居里温度、金属绝缘体转变温度、磁化强度和导电性能降低.这可能是由于Pb、Sn、Zr等离子扩散进入LSMO薄膜中,导致MnO6八面体畸变造成的.
关键词:
LSMO薄膜
,
PLZST陶瓷
,
磁电阻
,
扩散
李霞
,
温志渝
,
温中泉
色谱
doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2004.05.002
目前电泳芯片大多数采用的是光学检测的方法,这为电泳芯片的微型化、一体化集成带来了一定的难度.为此,设计了一种新的电泳芯片高频无接触电导检测器,并对这种新型的检测器进行了理论研究和分析,建立了高频电导检测器等效电路模型,对高频电导检测器的结构进行了设计;综合考虑区带展宽等因素,确定了检测器的结构尺寸.该检测器具有应用范围广、结构简单、易于一体化集成的特点.
关键词:
毛细管电泳
,
微型机电系统
,
无接触电导检测
