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纳米ITO粉末及高密度ITO靶制备工艺的研究现状

张维佳 , 王天民 , 糜碧 , 洪轲

稀有金属材料与工程

对铟锡氧化物ITO(Indium Tin Oxide)纳米粉末的制备方法如均相共沉淀法,水溶液共沉淀法,电解法,溶胶-凝胶法,喷雾燃烧法,喷雾热分解法等以及ITO磁控溅射靶的现有几种制备工艺进行了综合评述.阐述了各种制备工艺过程和工作原理,比较和分析了各工艺方法的优缺点,并提出了制备高品质ITO粉末及ITO靶的努力方向.

关键词: 纳米粉末 , ITO , 溅射靶