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Ti-Si-N薄膜生长过程的计算机模拟

刘学杰 , 洪超 , 姜永军 , 孙士阳

表面技术

首次应用修正嵌入原子法(MEAM)以及动力学蒙特卡洛方法(KMC)对Ti-Si-N薄膜的生长过程进行了计算机仿真模拟.在合理选择势函数及MEAM各项参数的基础上,利用编程软件仿真在不同基底温度下的薄膜生长过程.与采用传统简单的Mouse势进行模拟的结果相比,这种新方法的模拟结果更加准确,与实验结果更加吻合.仿真结果表明:基底温度对Ti-Si-N薄膜的形成过程有着直接的影响,当基底温度为800 K时,岛所形成的形貌最为理想,缺陷率最低.

关键词: Ti-Si-N薄膜 , 薄膜生长 , 计算机模拟 , MEAM势

乙二醇催化氨化合成乙二胺

张华良 , 杨师 , 洪超 , 徐潮 , 袁华

应用化学 doi:10.11944/j.issn.1000-0518.2017.05.160339

为了探索乙二胺绿色合成的新工艺,采用自制的负载型双组分复合金属氧化物NiO/CuO/Al2O3为催化剂,对乙二醇进行催化氨化制备乙二胺,用气相色谱法对反应物进行分析检测,采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)等技术手段对催化剂结构进行了表征. 通过考察催化剂组成、物料比、温度和时间等因素对反应的影响,确定了合成乙二胺的最佳工艺条件:催化剂活性组分n(Ni)∶n(Cu)=3∶1、催化剂加入量3%、氨醇质量比4∶1、反应温度180 ℃、反应压力0.6 MPa、反应时间4 h,乙二胺的选择性达56.7%,乙二醇转化率达68.6%. 与传统的二氯乙烷法相比较,本工艺更清洁友好.

关键词: 乙二醇 , 乙二胺 , 催化氨化

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