鲁泥藕
,
余怀之
,
霍承松
,
汪飞琴
,
石红春
功能材料
比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.
关键词:
窗口材料
,
透过率
,
ZnSe
,
化学气相沉积
汪飞琴
,
苏小平
,
霍承松
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.06.004
介绍了采用化学气相沉积(CVD)技术制备ZnS的原理及特点,提出用气体流形模拟研究目前生长过程中沉积厚度均匀性、长时间沉积稳定性以及重复性等问题.选择了合适的描述沉积室内气体运动的流体力学和表面反应动力学模型,利用流体力学的偏微分方程组(Navier-Stokes方程组),通过数值计算,得到沉积室内的速度场及流动场的模拟结果.比较可得在一定流速比下,采用环形主气流及横截面小的沉积室,可大大提高沉积室纵向生长均匀性.
关键词:
化学气相沉积
,
ZnS
,
流体动力学模拟
,
流动场
汪飞琴
,
苏小平
,
鲁泥藕
功能材料
化学气相沉积(CVD)法可制备高纯度、近似元件形状、大面积的块体材料,与制备薄膜的CVD过程相比,该过程存在长时间沉积稳定性、厚度均匀性及光学质量均匀性等问题.本文采用简化装置对CVD工艺过程进行物理模拟,探讨不同工艺参数下沉积室内部气体流型的变化,分析流型对沉积过程的影响.
关键词:
化学气相沉积
,
体材料
,
稳定性
,
均匀性
,
流型
