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超大规模集成电路硅片的内吸杂

汤艳 , 杨德仁 , 马向阳 , 李东升 , 樊瑞新 , 阙端麟

材料导报

介绍了吸杂的分类与效果以及内吸杂工艺,并综述了金属在硅中的性质,主要阐明了氧在内吸杂中的作用,简述了氮对吸杂的影响,并讨论了内吸杂的物理机理.最后探讨了今后吸杂的发展方向.

关键词: 硅 , 内吸杂 , 金属 , 氧