林旭彬
,
赵玉周
,
李静
,
胡巧燕
,
江绍基
,
蔡志岗
,
李宝军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.032
光子晶体是一种具有光子带隙的新型材料,由于其可以控制和抑制光子运动的特性,在光通讯领域具有广阔的应用前景.反蛋白石结构是光子晶体一种重要的结构,由于其制备方法简便、成本低廉而受到人们的普遍关注.本文在介绍目前常用的几种制备光子晶体技术的基础上,详细阐述了制备反蛋白石结构光子晶体的各种技术和方法、以及利用这些制备技术和方法在反蛋白石结构光子晶体上制备一维和二维缺陷的最新进展.
关键词:
光子晶体
,
反蛋白石结构
,
制备技术
梁景舒
,
陈子毅
,
余梦影
,
江绍基
材料科学与工程学报
建立一个雕塑薄膜三维生长的蒙特卡罗模型,模拟在PVD方法下Si在Si（100）基底上沉积的生长,考虑周期性排列预结构基底的阴影效应,模拟不同预结构单元宽度、间距及不同入射角度下斜柱状雕塑薄膜的三维形貌。结果表明,在入射角和宽度一定时,存在一个最佳间宽比值使得薄膜表面粗糙度最小;当宽度大于一定数值,粗糙度随间宽比值增大而增大。在相同预结构基底下,随入射角增大,薄膜的表面粗糙度增大;而薄膜的相对密度曲线变得平缓均匀。
关键词:
雕塑薄膜
,
蒙特卡罗模型
,
预结构
,
表面粗糙度
,
相对密度
