江宏
,
张勇
中国有色金属学报(英文版)
doi:10.1016/S1003-6326(16)64451-5
利用金属有机物分解法(MOD)，在 Pt/Ti/SiO2层的 Si (100)衬底上制备了 Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)薄膜，并将其分别在氧气氛围和空气中进行快速退火处理。运用 X 射线衍射仪和场发射扫描电子显微镜对 BNdT 薄膜的晶体结构和形貌进行表征，通过在不同浓度气体氛围下监控材料电阻变化来研究其气敏性能。结果表明，在空气环境退火的 BNdT 薄膜具有多孔微结构和表面粗糙形貌，且退火氛围对 BNdT 薄膜气敏性能有较大的影响。在工作温度为100°C 时，在空气中退火的 BNdT 薄膜对1×10?6乙醇气体具有高的灵敏度，并且对乙醇气体的极限探测浓度达到0.1×10?6。其响应和恢复时间分别约为6 s 和10 s。研究结果为制作高性能乙醇传感器有指导的意义。
关键词:
BNdT 薄膜
,
乙醇气敏性能
,
金属有机物分解
,
退火气氛
,
低工作温度
