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水露雨 , 严彪
金属功能材料
MEMS技术作为一种新兴的高端制造技术受到全球的重视,成为研究热点.随着TiAl合金薄膜的研究和应用发展,其优异的高温力学性能和抗腐蚀性能提高了MEMS系统的应用范围.阐述了TiAl合金薄膜的制备技术,生长模式和微观结构,并介绍了TiAl合金薄膜在MEMS上的应用研究进展.
关键词: MEMS , TiAl合金薄膜 , 磁控溅射 , 生长模式 , 制备方法
杨颖 , 水露雨 , 张瑜 , 严彪
镍基涂层是一种得以最广泛应用的涂层材料之一.研究表明,制备方法显著影响镍基涂层的结构、组分形态、缺陷以及耐磨性、耐腐蚀性、磁性能等.总结了镍基涂层的主要制备方法的原理和应用,并对其以后的研究和发展方向进行了展望.
关键词: 镍基涂层 , 制备方法 , 原理
