杨新波
,
徐军
,
李红军
,
毕群玉
,
程艳
,
苏良碧
,
周国清
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00783
采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石, 使用化学机械抛光加工衬底表面, 对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究. 结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec; 位错密度为5.6×103cm-2, 波长大于300nm时的平均透过率大于80%; 光学均匀性Δn=6.6×10-5; 平均表面粗糙度为0.49nm. 结果表明, 温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高, 达到了GaN外延衬底的标准.
关键词:
r面蓝宝石
,
non-polar GaN
,
substrate
杨新波
,
李红军
,
毕群玉
,
程艳
,
苏良碧
,
唐强
,
徐军
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00255
以高纯Al2O3为原料,利用石墨发热体和石墨保温桶为碳源,采用导模法生长了α-Al2O3:C 晶体,研究了氢气退火后得到的α-Al2O3:C晶体的热致发光和光致受激发光特性.α-Al2O3:C晶体在460K具有单一一级动力学热致发光峰,热致发光发射波长位于415nm.α-Al2O3:C晶体的光致受激发光曲线呈指数衰减,衰减曲线由快衰减和慢衰减两部分组成.α-Al2O3:C晶体的热致发光和光致受激发光剂量响应曲线具有线性-亚线性-饱和的特点,其中热致发光剂量响应在5×10-6~0.2Gy范围内呈现良好的线性关系,饱和剂量为10Gy;光致受激发光剂量响应在5×10-6~10Gy范围内呈现良好的线性关系,饱和剂量为30Gy.
关键词:
α-Al2O3
,
C
,
热致发光
,
光致受激发光
,
导模法
杨新波
,
徐军
,
李红军
,
毕群玉
,
程艳
,
苏良碧
,
周国清
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00783
采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec;位错密度为5.6×103cm-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%;光学均匀性△n=6.6×10-5;平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了GaN外延衬底的标准.
关键词:
r面蓝宝石
,
非极性GaN
,
衬底