李磊
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段力
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秦格华
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马德川
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王云生
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陶闻钟
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陈尚荣
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卢学良
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刘民
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张亚非
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.02.015
热障涂层材料(TBC)能够应用于航空发动机涡轮叶片等许多尖端领域,这种材料是一种能够缓冲外界热量进入表面合金的低热导率材料.研究表明,空气是一种近乎最低的低热导率材料,所以在热障涂层材料中加入空气能够有效提高热量缓冲作用.将采用感应耦合等离子体(ICP)深沟刻蚀硅的表面,在金属钛表面电解氧化形成多孔的氧化层薄膜以及泡沫铜、泡沫镍的多孔结构来系统阐述这一理论的可行性.使用了扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和热导率测量仪对微观形貌和热导率进行了表征测量,并利用计算机仿真对多孔结构进行了进一步的热传导性能分析.
关键词:
热障涂层材料
,
ICP刻蚀
,
低热导率
,
多孔氧化膜
,
多孔结构