仲飞
,
刘彭义
,
段光凤
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2005.06.007
为了改善有机发光器件(OLEDs)的性能,在0～600 ℃不同温度下对ITO透明导电玻璃进行了退火处理.SEM观察到随退火温度的升高,ITO表面粗糙度增加;四探针电阻测试结果显示,在300 ℃以上温度退火后ITO表面电阻率有明显增加.用退火前后的ITO玻璃作为阳极制备了OLEDs,器件结构为ITO/TPD/Alq3/Al,比较器件的电流密度-电压特性曲线测试结果表明,ITO薄膜的热处理温度对OLEDs性能有显著的影响.
关键词:
ITO
,
有机发光器件
,
退火
,
表面处理
,
性能
