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纳米Si薄膜的结构及压阻效应

何宇亮 , 林鸿溢 , 武旭辉 , 余明斌 , 于晓梅 , 王珩 , 李冲

材料研究学报

使用HREM及STM技术检测了纳米Si薄膜的微结构纳米Si薄膜由大量的细微Si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米Si薄膜材料将是一种理想的传感器材料

关键词: 纳米Si薄膜 , null , null , null