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轧制工艺对Zr-4合金带材织构取向及腐蚀性能的影响

武宇 , 姚修楠 , 田锋 , 李红宇 , 郭海生 , 唐进 , 赵鸿磊

稀有金属材料与工程

采用800和960℃两种温度条件将Zr-4合金进行热轧开坯至2.2 mm厚度,经中间退火后用带材轧机冷轧加工至1.2 mm,再经过中间退火后冷轧成0.6 mm厚的带材,研究轧制工艺对Zr-4合金带材织构取向因子的影响,并测试不同开坯温度制备的相同厚度的冷轧带材在400℃、10.3 MPa过热蒸汽中72 h的腐蚀性能.结果表明,相同冷轧加工率条件下,960℃热轧开坯所制备带材横向织构总是大于800℃热轧开坯所制备带材,而其法向织构总是小于800℃热轧开坯所制备的带材;相同热轧开坯温度条件下,冷轧加工率越大,横向织构越小,法向织构越大;经800℃热轧开坯制备的0.6 mm厚的Zr-4合金带材的蒸汽腐蚀性能优于经960℃热轧开坯制备的Zr-4合金带材.讨论认为,可以在经济、稳定的工艺条件下相对精确地控制和计算Zr-4合金带的横向织构取向因子,但应关注工艺实施对成品带材腐蚀性能的影响.

关键词: 合金 , Zr-4合金带 , 织构取向因子 , 腐蚀性能

工艺因素对铌带深冲性能的影响

王国栋 , 王艳 , 武宇 , 赵鸿磊

稀有金属材料与工程

研究了锻造开坯、轧制、热处理工艺对铌带深冲性能的影响.采用万能试验机、扫描电子显微镜对材料性能和微观形貌进行分析.结果表明:采用较高的锻造温度、较大的开坯压下量及低温长时间热处理,能使铌带具有更好的深冲性能、较高的强度和延伸率及良好的织构分布.铌带冷轧织构类型为典型的[100]//RD和[111]//ND纤维织构,经再结晶退火后转变为很强的(111)[101]到(111)[11(2)]的过渡型织构和较弱的(100)[011l]±15°织构.再结晶纤维织构强度大幅度增加,有利于消除深冲时的制耳.

关键词: 工艺 , 铌带 , 锻造 , 轧制 , 织构 , 深冲性能

Nb10Zr合金高温变形应变补偿型本构关系模型

武宇 , 宜楠 , 乔慧娟 , 郭海生 , 赵鸿磊 , 姚修楠

稀有金属材料与工程

针对一种新型的铌基高温功能合金Nb10Zr,在变形温度1273~1373 K和应变速率0.01~1 s-1条件下,利用Gleeble-1500型热模拟试验机进行等温恒应变速率压缩试验,对其高温变形行为进行研究,并建立了应变补偿的材料高温变形Arrhenius本构关系模型.确定了峰值应力、变形温度和应变速率之间的关系,并考虑了应变的影响,获得了变形激活能和本构方程中材料常数随应变的变化规律.结果表明,在较低温度下所建立的本构关系模型可以精确预测材料的变形行为,但随着变形温度的升高,本构模型的预测能力有所下降,但在所研究的变形温度和应变速率范围内应变补偿型本构关系模型能够满足工程需要,平均相对误差为4.3%.

关键词: Nb10Zr , 高温变形 , 本构关系 , 应变补偿

集成电路用钽溅射靶材制备工艺研究

宜楠 , 权振兴 , 赵鸿磊 , 武宇

材料开发与应用

金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能.采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上.靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100 μm,在靶材整个厚度范围内应主要是(111)型织构.同时,为了避免薄膜存在杂质颗粒,要求钽靶材纯度不小于99.99%.本文对钽靶材电子束熔炼、锻造、轧制、热处理等关键工艺进行了系统研究,找到了一种有别于常规钽靶材生产工艺的新方法,所生产产品化学纯度、晶粒尺寸、织构等性能优良,产品成品率高,适于批量化生产.

关键词: , 溅射靶材 , 晶粒尺寸 , 织构 , 电子束熔炼 , 锻造 , 轧制 , 热处理

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