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类金刚石薄膜的紫外可见区光学特性研究

梁海锋 , 原飞

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.05.009

在类金刚石薄膜(DLC)光学特性的研究方面,主要工作集中在红外区光学特性,在可见区和紫外区光学特性研究方面存在空白;鉴于此详细研究了采用脉冲电弧沉积DLC薄膜在可见区和紫外区的光学特性.利用脉冲电弧离子镀技术,在石英基片上和不同工艺条件下制备了类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜在紫外和可见区的光学常数、光学透过率和光学能隙.结果表明,主回路电压是薄膜的光学常数变化的主要影响因素,低主回路电压下制备的类金刚石薄膜具有较低消光系数和折射率;不同的工艺条件下制备的类金刚石折射率从2.56变化到1.89(波长400nm);沉积速率对薄膜的折射率和消光系数没有明显的影响;DLC薄膜的光学能隙在3.95eV左右;紫外区和可见区的透过率谱和椭偏仪测得的光学常数相互一致.

关键词: 类金刚石薄膜 , 光学常数 , 光学能隙 , 透过率

钛铸件表面离子氮化/涂层复合处理及其性能研究

王菁 , 郭天文 , 安艳新 , 梁海锋 , 佟宇

稀有金属材料与工程

为提高口腔医学领域用纯钛铸件的表面性能,改善其美观效果,用辉光等离子氮化、脉冲电弧离子镀涂层复合处理纯钛铸件,使用扫描电镜、接触角测量系统及X射线衍射分析仪评价其表面性能及晶相结构组成,再用分光测色计分析其色彩学特征.结果表明,纯钛铸件等离子氮化、镀氮化钛涂层复合处理后表面形成均匀稳定的TiN复合梯度涂层;人工唾液在复合处理试件表面的接触角(60.29-2.00)°明显小于纯钛(73.12±3.29)°;颜色均匀美观,在CIE表色系中L*:61.22±0.455、a*: 1.84±0.055、b*:25.66±0.219,呈金黄色,表面晶相结构以耐磨性较好的TiN、Ti2N为主.

关键词: 钛铸件 , 辉光等离子渗氮 , 氮化钛(TiN) , 表面形貌 , 色彩

碳钛颗粒膜表面电子发射特性

任雯 , 梁海锋 , 蔡长龙

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.007

采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜,应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型器件.在幅值渐增的三角波电压作用下,器件在电压幅值低于17V时,伏安特性呈明显的线性特性,对应的薄膜表面没有变化;进一步升高器件电压幅值,伏安特性呈明显的负阻特性,同时可以观测到表面电子发射,表面电子发射最大达到7.2μA,发射效率达到了0.094 3%,薄膜表面失色,产生明显的孔洞结构.根据F-N理论拟合器件电压和发射电流,所得Ie-Vf特性曲线呈直线,表明发射电子源于场致电子发射.

关键词: 碳钛颗粒膜 , 表面传导电子发射 , 伏安特性 , 场致发射

脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究

刘缠牢 , 梁海锋 , 严一心

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.012

利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性.用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能;利用维氏硬度计表征薄膜的硬度.结果表明薄膜在光谱范围1.25~10μm内透明,光学常数随波长的变化而变化,具有高达40GPa的维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等.

关键词: 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧 , 光学特性 , 机械特性

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