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钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究

吴玲玲 , 梁海峰 , 蔡长龙 , 徐均琪 , 杭凌侠 , 严一心

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.02.011

Ti-Ni形状记忆合金是目前唯一用作生物医学材料的形状记忆合金.它的主要缺点是不具有生物活性,会对机体造成不利影响.DLC膜以其优异的生物相容性、抗腐蚀性及化学稳定性倍受关注.利用脉冲真空电弧离子镀技术镀制DLC膜改善Ti-Ni合金的表面性能.对DLC膜的表面形貌、显微硬度、摩擦系数、耐磨性能及耐腐蚀性能进行了测试.结果表明:用脉冲真空电弧离子镀技术制备的DLC膜膜层表面形貌较好、硬度高、摩擦系数小、耐磨及耐腐蚀性能良好.

关键词: Ti-Ni合金 , 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧

氧流量对磁控溅射ZrO2薄膜光学性能的影响

戚云娟 , 朱昌 , 梁海峰

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.05.005

采用反应磁控溅射法在k9玻璃基底上沉积ZrO2薄膜.用轮廓仪、椭圆偏振仪和分光光度计,分别测试薄膜的厚度、折射率、消光系数和透过率,研究了不同氧流量对薄膜沉积速率和光学特性的影响.结果表明:随着氧气流量增加到22～24 mL/min(标准状态下)时,沉积速率从6.8 nm/s下降到2.5 nm/s,并趋于稳定；在入射波长630 nm处,薄膜的折射率为1.95,消光系数小于10-5；在可见及近红外波段,薄膜平均透过率高于80％.

关键词: ZrO2薄膜 , 反应磁控溅射 , 氧流量 , 光学特性

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