桂全宏
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周福强
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汪桂根
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崔林
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黎凌华
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严帅
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韩杰才
功能材料
近年来，图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著，引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法（干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法），并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数（图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度）对LED发光薄膜及器件的影响及其机理，最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。
关键词:
蓝宝石图形衬底
,
GaN
,
LED
桂全宏
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佘星欣
人工晶体学报
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法分别在玻璃衬底和p型薄膜硅衬底上制备了微晶硅薄膜.使用拉曼谱仪、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪等对微晶硅薄膜进行检测,重点研究了硅烷浓度、衬底温度对薄膜沉积速率和晶化率的影响.实验结果表明:两种衬底上薄膜的沉积速率均随硅烷浓度的增大、衬底温度的升高而变大.硅烷浓度对两种衬底的薄膜晶化率影响规律相同,即均随其升高而降低；但两种衬底的衬底温度影响规律存在差别:对玻璃衬底而言,温度升高,样品晶化率减小；而p型薄膜硅衬底则在温度升高时,样品晶化率先增大后减小.此外还发现,晶化率与薄膜光学性能及含氧量存在较密切关联.
关键词:
微晶硅薄膜
,
沉积速率
,
晶化率
