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二氧化钒薄膜的研究进展

张华 , 肖秀娣 , 徐刚 , 柴冠麒 , 杨涛

材料导报

系统总结了VO2薄膜常用的制备方法,并针对目前热色智能窗用VO2薄膜存在的问题,如透过率低、调节率不理想等,详细综述了提高VO2薄膜性能的工艺改进途径,包括沉积减反层、加入折射率小的材料、掺杂等,以揭示改善VO2薄膜的最佳途径,为推进VO2智能窗的实用化提供依据.

关键词: 热色智能窗 , VO2薄膜 , 可见光透过率 , 太阳能调节率