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何宇亮 , 林鸿溢 , 武旭辉 , 余明斌 , 于晓梅 , 王珩 , 李冲
材料研究学报
使用HREM及STM技术检测了纳米Si薄膜的微结构纳米Si薄膜由大量的细微Si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米Si薄膜材料将是一种理想的传感器材料
关键词: 纳米Si薄膜 , null , null , null
林鸿溢
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.01.004
纳米科学技术在20世纪最后10年诞生并得到迅速发展.讨论和论述了新兴的纳米科学技术的进展,展望了包括量子功能器件、薄膜传感器、纳米材料、生物技术和原子工程等的应用前景,同时给出了某些实验结果.
关键词: 纳米科学技术 , 纳米材料 , 纳米电子学
