孙红燕
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马文会
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陈秀华
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于洁
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林航昇
功能材料
采用射频磁控溅射法成功地在多孔La0.9Sr0.1Ga0.8Mg0.2O3-σ(LSCM7355)阳极基底上制备了致密的LSGM电解质薄膜层.研究结果表明,当溅射功率为210W、基底温度为300℃、溅射气氛氩气压强为5Pa、溅射时间为12h,得到表观形貌较好、厚度约为10μm的LSGM电解质薄膜.在1000℃空气气氛中退火2h后,电解质薄膜物相结构符合多晶态钙钛矿型结构.
关键词:
固体氧化物燃料电池
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LSGM
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RF磁控溅射
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薄膜
