林永清
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巩春志
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魏永强
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田修波
,
杨士勤
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关秉羽
,
于传跃
材料研究学报
采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,
研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响. 结果表明,
随着脉冲偏压的增大, 薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,
这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果. 存在一个最佳的脉冲偏压,
使得制备出的TiN膜层具有较高的I(111)/I(200)比例和较高的耐磨性.
脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能.
关键词:
无机非金属材料
,
null
,
null
林永清
,
巩春志
,
魏永强
,
田修波
,
杨士勤
,
关秉羽
,
于传跃
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2008.04.012
采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层具有较高的I(111)/I(200)比例和较高的耐磨性.脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能.
关键词:
无机非金属材料
,
离子镀
,
矩形靶
,
脉冲偏压
,
氮化钛
,
耐磨性
