张华
,
刘慧舟
,
杨坚
,
金薇
,
杨玉卫
,
古宏伟
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2007.03.012
用带有反应溅射装置的走带系统在立方织构的Ni-5% W衬底上连续制备了长10 cm的CeO2隔离层.为避免金属衬底氧化,以H2O作为反应气体.论文主要研究了衬底温度、走带速率对CeO2隔离层外延生长的影响.用X射线θ~2θ扫描,ψ扫描对薄膜的取向和织构进行表征.结果显示在温度650 ℃,走带速度2.5 mm/s的条件下,连续制备的CeO2隔离层有效地继承并改善了基底的织构,平均平面内ψ扫描半高宽为6.18°,扫描电镜(SEM)观察表明薄膜表面致密,且无裂纹生成.
关键词:
反应溅射
,
连续沉积
,
CeO2隔离层
,
NiW衬底
杨玉卫
,
杨坚
,
古宏伟
,
刘慧舟
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张华
,
金薇
硅酸盐通报
类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.
关键词:
类金刚石薄膜
,
制备工艺
,
应用
侯德龙
,
宋月清
,
李德富
,
杨玉卫
中国稀土学报
通过恒电流法和失重法研究了加入La对Al-Sn-Bi阳极电化学性能的影响,对比分析了阳极的电化学溶解特征.结果表明:不同含量La对Al-Sn-Bi牺牲阳极的电位影响较小;电流效率比未加La的阳极有不同程度的提高,其中Al-Sn-Bi-0.1La的电流效率增幅较大;La可改善阳极的腐蚀形貌,使得表面溶解均匀,同时降低阳极腐蚀速率,提高其耐蚀性,其中含量0.1%La效果明显.
关键词:
Al-Sn-Bi牺牲阳极
,
电化学性能
,
腐蚀速率
,
稀土