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低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能

邱东江 , 吴惠桢 , 杨爱龄 , 徐晓玲

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.05.007

采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿c-轴高度取向的单晶ZnO薄膜.研究了衬底温度及反应气氛中的O2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(PL)和荧光激发光谱(PLE)研究了玻璃上ZnO薄膜的光学跃迁特性.在325℃下获得的单晶薄膜(002)晶面的X射线衍射峰强度最大且线宽最窄(0.28°).反应气氛中的O2对ZnO薄膜结构的影响不明显,但对薄膜的PL及PLE特性的影响显著.

关键词: 电子束反应蒸镀 , 晶ZnO薄膜 , 玻璃衬底 , 结构及光学特性