许小红
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段静芳
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杨治广
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武海顺
稀有金属材料与工程
采用直流磁控溅射法制备了Co1-xPtx合金薄膜,并详细研究了其结构和磁学性能随x变化的规律.通过XRD结构分析可知:溅射态的薄膜当x≤28%时,为hcp结构;x=35%和40%时,为hcp和fcc的混合结构;x≥46%以后,为fcc结构.VSM测试结果表明:随x的增大,溅射态薄膜的矫顽力先增大后减小,当x=23%时,矫顽力达到最大值2147×79.6 A/m,在x=46%处矫顽力急剧下降至100×79.6 A/m左右,x＞46%以后,矫顽力随x的增大不再明显变化.退火后,hcp结构的薄膜矫顽力基本不变,而接近等原子比的fcc结构的CoPt薄膜,由于部分转变为fct结构,矫顽力有很大提高;fcc结构的CoPt3薄膜矫顽力有所增大,但是增大不多.
关键词:
CoPt
,
矫顽力
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结构
,
磁学性能
杨治广
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许小红
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武海顺
稀有金属材料与工程
用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底层厚度的CoPt/Ag薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响,膜厚较薄时(δ≤15 nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性;Ag底层可以诱导Ll0-CoPt相的形成并使c轴垂直择优取向,且Ag底层越厚其诱导效应越强.
关键词:
CoPt薄膜
,
厚度
,
Ag底层
,
结构
,
磁性能
