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非晶态CoZr软磁薄膜的磁性

刘宜华 , 杨林倩

金属学报

用射频溅射法制备了非晶态CoZr合金薄膜,在0.5Pa的氩气压下,可以得到性能优良的软磁薄膜。研究了非晶态CoZr膜的饱和磁化强度与Zr含量及温度的关系,发现对各种成分的非晶态CoZr膜,在很宽的温度范围内都可满足Bloch T~(3/2)定律。根据刚带模型计算出每个Zr原子向Co的3d能带转移的电荷数约为2.27。

关键词: 非晶态合金 , radio-frequency sputtering , perpendicular anisotropy , rigid band model

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