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ITO薄膜直流反应磁控溅射制备及性能研究

夏冬林 , 杨晟 , 王树林 , 赵修建

材料导报

以90wt%In和10wt%Sn铟锡合金为靶材,采用直流磁控反应溅射法在玻璃基片制备ITO透明导电薄膜.用紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪、XRD和SEM分别测试了ITO薄膜的紫外-可见光透射光谱、方块电阻、薄膜的结构和表面形貌.研究了氧分压对ITO薄膜性能的影响.实验结果表明,ITO薄膜随着氧分压的增加,薄膜紫外透射光谱的吸收截止边带向短波长方向漂移.随着氧分压的增大,ITO薄膜的方块电阻增加,结晶程度变好,晶粒尺寸变大.

关键词: 直流磁控反应溅射法 , ITO , 薄膜 , 光电性能

直流磁控溅射陶瓷靶制备ITO薄膜及性能研究

夏冬林 , 杨晟 , 王树林 , 赵修建

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.015

以10%质量分数SnO2和90%质量分数In2O3烧结成的ITO氧化物陶瓷为靶材,采用直流磁控反应溅射法在玻璃基片上制备ITO透明导电薄膜,研究了基片温度和氧分压条件对ITO薄膜的物相结构和光电性能的影响.实验结果表明:ITO薄膜的方块电阻随衬底温度的升高而下降,而可见光透过率增大;ITO薄膜可见光透过率和方块电阻随氧分压的增加而增大.

关键词: 直流磁控溅射 , ITO薄膜 , 衬底温度 , 透过率

薄膜太阳能电池

徐慢 , 夏冬林 , 杨晟 , 赵修建

材料导报

薄膜太阳能电池作为一种新的能源材料正在得到迅速的发展和进步,主要介绍了非晶硅、多晶硅薄膜太阳能电池以及CIGS薄膜太阳能电池,通过比较这几种薄膜太阳能电池各自的特点阐述了各种薄膜太阳能电池的发展状况.

关键词: 光电功能薄膜 , 薄膜 , 太阳能电池

泡沫石墨/石蜡复合相变储热材料的调温隔热性能

杨晟 , 许勇铁 , 由英来

材料科学与工程学报

采用多次真空灌注方法将石蜡吸附到多孔的泡沫石墨中,制备出了泡沫石墨/石蜡复合相变储热材料。利用Hot Disk热常数分析仪和差示扫描量热分析(DSC)对该复合材料的热性能进行了测试,结果表明,石蜡充分吸附到泡沫石墨的蜂窝状微孔中,泡沫石墨的填充极大地强化了相变材料的导热能力。研究了将该复合材料用作墙体围护结构时的隔热和调温性能,并与普通轻质墙体材料作围护结构进行了对比,结果表明,复合相变储热材料能够有效地利用昼夜温差进行储热放热,有效地阻止了热量进入室内,可明显降低室内温度波动和最大值,提高人体舒适度,具有较好的调温隔热效果。

关键词: 泡沫石墨 , 相变材料 , 导热能力 , 调温 , 隔热

巨大芽胞杆菌环氧水解酶的固定化及其催化性能

贾涛 , 许建和 , 杨晟

催化学报

考察了多种载体对巨大芽孢杆菌ECU1001环氧水解酶的固定化. 以大孔DEAE-纤维素离子交换树脂为载体时,固定化酶的活力回收达70%. 进一步考察了温度和pH对固定化酶活力的影响,并使用该固定化酶进行了缩水甘油苯基醚对映选择性水解批次反应. 结果表明,在较低的底物浓度下该固定化酶的稳定性较好, 10批反应后仍然剩余72.4%的活力.

关键词: 巨大芽孢杆菌 , 环氧水解酶 , 固定化 , 缩水甘油苯基醚 , 水解

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