方建华
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翟华
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王雪青
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付大庆
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李斌
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杨振良
工程热物理学报
本文介绍了在100吨/日循环流化床垃圾焚烧炉上进行的工业污水处理厂干化污泥和城市污水处理厂干化污泥焚烧结果.对焚烧产生的烟气中的污染物烟尘、氮氧化物、二氧化硫、氯化氢、汞、镉、铅和二恶英等排放浓度所进行的测试结果表明,采用循环流化床炉焚烧干化污泥,在炉内加石灰石情况下,烟气排放能达到我国生活垃圾焚烧污染控制标准.
关键词:
污泥
,
焚烧
,
循环流化床
杨振良
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宋忠孝
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徐可为
稀有金属材料与工程
沉积在ZrN,TaN阻挡层上的Cu膜分别在真空和氢气、氮气的混合气氛下退火.利用SEM、XRD和电阻率来表征多层膜的热稳定性.实验结果表明:对于沉积在同种阻挡层上的多层膜在混合气氛中退火的热稳定性较真空退火的要高.对真空退火处理,沉积在ZrN阻挡层上的多层膜的热稳定性比沉积在TaN阻挡层上的要高.研究结果表明:多层膜的热稳定性的评价不仅跟多层膜本身的因素有关,如阻挡层的种类,还和退火气氛有关.
关键词:
沉积Cu膜
,
热稳定性
,
扩散阻挡
,
退火气氛
