杨幸幸
,
邹应全
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2009.10.014
合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.
关键词:
硫鎓盐
,
产酸剂
,
产酸效率
邝良菊
,
邹应全
,
杨幸幸
影像科学与光化学
聚乙烯醇(PVA)首先与丁醛进行缩醛反应,再与酸酐进行酯化反应合成了酸酐改性PVA树脂.将此树脂与进口重氮树脂、染料和有机溶剂以一定比例混合形成了阴图PS版感光胶.本文研究了B/P以及酸酐改性PVA树脂的分子量、缩醛度、酯化度等因素对阴图PS版成像性能的影响.结果表明酸酐改性PVA树脂对阴图PS版的显影性能,亲油墨性和耐磨性都起关键作用,对阴图PS版的感度和保存稳定性也有一定影响.因此其分子量、酯化度和缩醛度的确定,必须综合考虑各项性能之间的平衡.缩醛度为60-80 mol%,酯化度10-15 mol%,羟基5-25 mol%,分子量约为4-8万,B/P为4-4.5时,制得的阴图PS版的感度、显影性、着墨性和耐磨性都较好.
关键词:
阴图PS版
,
酸酐改性PVA树脂
,
重氮树脂
